温度制御
製品情報:
- ISOクラス4の清掃能力
- 温度を±0.1℃ ~ ±0.005℃の範囲で制御可能
- 内部設置機器に合わせた設計が可能
- 回路の保護数に応じた各安全性を考慮
- 温度、湿度の変化による伸縮、膨張の防止、および塵埃やガスの汚染の防止
- 湿度制御は、低湿度RH 5〜40%、標準範囲外の湿度RH 40〜60%の期待に応えます
- PID制御を使用し、精密温度と超精密製品部品に適した空気流システムを使用し、振動温度の精度は0.1℃〜0.002℃です
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