OLS5100 マイクロスコープ
TBBグローバルテクノロジー株式会社は、ベトナムにおけるオリンパスのマイクロスコープの独占販売代理店であり、本物の高品質なOLS5100マイクロスコープを提供しています。
技術仕様
モデル
- OLS5100-SAF
- OLS5100-SMF
- OLS5100-LAF
- OLS5100-EAF
総倍率
54倍 - 17,280倍
視野
16 μm - 5,120 μm
測定原理
光学系
反射型共焦点レーザースキャニング顕微鏡
反射型共焦点レーザースキャニング顕微鏡-DIC
カラー
カラー-DIC
受光素子
レーザー: フォトマルチプライヤー (2ch)
カラー: CMOSカラーカメラ
高さ測定
表示分解能
0.5 nm
ダイナミックレンジ
16ビット
再現性 n-1 *1 *2 *6
- 5倍: 0.45 μm
- 10倍: 0.1 μm
- 20倍: 0.03 μm
- 50倍: 0.012 μm
- 100倍: 0.012 μm
精度 *1 *3 *6
0.15 + L/100 μm (L: 測定長さ [μm])
ステッチ画像の精度 *1 *4 *6
10倍: 5.0+L/100 μm, 20倍以上: 1.0+L/100 μm (L: ステッチング長さ [μm])
測定ノイズ (Sq noise) *1 *5 *6
1 nm [Typ]
幅測定
表示分解能
1 nm
再現性 3 n-1 *1 *6
- 5倍: 0.4 μm
- 10倍: 0.2 μm
- 20倍: 0.05 μm
- 50倍: 0.04 μm
- 100倍: 0.02 μm
精度 *1 *3 *6
測定値 +/- 1.5%
ステッチ画像の精度 *1 *3 *6
10倍: 24+0.5L μm, 20倍: 15+0.5L μm, 50倍: 9+0.5L μm, 100倍: 7+0.5L μm (L: ステッチング長さ [mm])
単一測定における最大測定点数
4096 x 4096 pix
最大測定点数
36 Mpix
XYステージ構成
長さ測定モジュール
操作範囲
100 x 100 mm
モーター駆動
100 x 100 mm
手動
300 x 300 mm
モーター駆動
100 x 100 mm
モーター駆動
サンプルの最大高さ
100 mm
30 mm
37 mm
210 mm
レーザー光源
波長
405 nm
最大出力
0.95 mW
レーザークラス
クラス2 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)
カラー光源
ホワイトLED
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